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새로운 단일 전구체를 이용한 AIN 박막의 제조

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자료유형기사
기사명새로운 단일 전구체를 이용한 AIN 박막의 제조 :
저자명안창규 최승철 한성환
발행/형태사항: 한국세라믹학회, 2001
수록잡지명한국 세라믹 학회지 : 2001년 08월 Vol.38 No.8 [통권231호]
페이지761-764

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