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n(인) 주입된 폴리실리콘 박막 저항율의 계산

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자료유형기사
기사명n(인) 주입된 폴리실리콘 박막 저항율의 계산 :
저자명정강민
발행/형태사항: 성균관대학교 과학기술연구소, 1993
수록잡지명논문집(성균관대 과학기술연구소) : 1993년 07월 제44권 1호
페이지221-228

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 051 구독중 1998년 10월 제49권 2호 권호정보

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