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통계적 실험계획법을 이용한 SOG 평탄화 공정의 최적화

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자료유형기사
기사명통계적 실험계획법을 이용한 SOG 평탄화 공정의 최적화 :
저자명이승석 이석희 김종철
발행/형태사항: 한국진공학회, 1992
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 1992년 03월 제1권 1호
페이지198-205

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