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여러 전극 구조에서의 플라즈마 이온 주입의 Particle-In-Cell 시뮬레이션

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자료유형기사
기사명여러 전극 구조에서의 플라즈마 이온 주입의 Particle-In-Cell 시뮬레이션 :
저자명이영실 윤현진 정태훈
발행/형태사항: 한국물리학회, 1996
수록잡지명응용 물리 : 1996년 02월 제9권 1호
페이지14-23

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