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MCM/PCB 회로패턴 검사에서 SEM의 전자빔을 이용한 측정방법

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자료유형기사
기사명MCM/PCB 회로패턴 검사에서 SEM의 전자빔을 이용한 측정방법 :
저자명김준일 신준권 지용
발행/형태사항: 대한전자공학회, 1998
수록잡지명전자공학회논문지 - D : 1998년 09월 제35권 9호
페이지26-34

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 569.05 전자공개 구독중단 1999년 12월 제36권 12호 권호정보 제본정보

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