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고주파 플라즈마 CVD에 의한 H2-CH4계로부터 다이아몬드박막의 합성

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자료유형기사
기사명고주파 플라즈마 CVD에 의한 H2-CH4계로부터 다이아몬드박막의 합성 :
저자명임헌찬
발행/형태사항: 대한전자공학회, 1999
수록잡지명전자공학회논문지 - TE : 1999년 09월 제36권 3호
페이지13-18

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1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 569.05 전자공교 구독중 2005년 12월 제42권 4호 권호정보
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