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분자선증착법으로 성장된 AlGaN 에피층의 표면 형상분석

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자료유형기사
기사명분자선증착법으로 성장된 AlGaN 에피층의 표면 형상분석 :
저자명김제원 최인훈 박영균 김용태
발행/형태사항: 한국재료학회, 1999
수록잡지명한국 재료 학회지 : 1999년 09월 제9권 9호
페이지878-882

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