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도핑농도에 따른 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성:

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자료유형기사
기사명도핑농도에 따른 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성 :
저자명김강산 정귀상
발행/형태사항: 한국센서학회, 2008
수록잡지명센서 학회지 : 2008년 07월 제17권 제4호
페이지256-260

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1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 구독중 2013년 11월 제22권 제6호 권호정보

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