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박막히터를 사용한 비정질 실리콘의 고상결정화:

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자료유형기사
기사명박막히터를 사용한 비정질 실리콘의 고상결정화 :
저자명김병동 정인영 송남규 주승기
발행/형태사항: 한국진공학회, 2003
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2003년 09월 제12권 3호
페이지168-173

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