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rf 마그네트론 스퍼링에 의하여 증착된 TiN 박막의 물성에 대한 증착변수의 영향:

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자료유형기사
기사명rf 마그네트론 스퍼링에 의하여 증착된 TiN 박막의 물성에 대한 증착변수의 영향 :
저자명이도영 정지원
발행/형태사항: 한국화학공학회, 2008
수록잡지명화학 공학 : 2008년 08월 Vol.46 No.4
페이지676-680

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