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미세패턴 형성을 위한 무기질 a-Se75Ce25 포토레지스트의 예칭특성

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자료유형기사
기사명미세패턴 형성을 위한 무기질 a-Se75Ce25 포토레지스트의 예칭특성 :
저자명정홍배
발행/형태사항: 광운대학교, 1987
수록잡지명논문집(광운대) : 1987년 제16집
페이지45-50

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 051 구독중단 1995년 제24집(순수.응용과학편) 권호정보

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