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새로운 Copper 전구체를 이용한 구리점 증착:

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자료유형기사
기사명새로운 Copper 전구체를 이용한 구리점 증착 :
저자명강상우 성대진 신용현 이시우 윤주영
발행/형태사항: 한국진공학회, 2006
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2006년 09월 제15권 5호
페이지485-492

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