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증착온도가 저유전 a-C:F 박막의 특성에 미치는 영향

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자료유형기사
기사명증착온도가 저유전 a-C:F 박막의 특성에 미치는 영향 :
저자명박정원 양성훈 박종완
발행/형태사항: 한국재료학회, 1999
수록잡지명한국 재료 학회지 : 1999년 12월 제9권 12호
페이지1211-1215

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