대구한의대학교 향산도서관

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플라즈마를 이용한 건식 표면청정화 기술

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자료유형기사
기사명플라즈마를 이용한 건식 표면청정화 기술 :
저자명채병규 권식칠
발행/형태사항: 한국기계연구원, 2000
수록잡지명機械와 材料 : 2000년 봄호 Vol.12 No.1
페이지100-107

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