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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 투명 전도성 SnO₂박막의 제조

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자료유형기사
기사명RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 투명 전도성 SnO₂박막의 제조 :
저자명신성호 박광자 김현후
발행/형태사항: 한국진공학회, 1996
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 1996년 06월 제5권 2호
페이지139-146

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