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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 질화탄소 박막의 광학적 특성:

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자료유형기사
기사명RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 질화탄소 박막의 광학적 특성 :
저자명이호근 김영호 정기룡
발행/형태사항: 한국물리학회, 2004
수록잡지명새 물리 : 2004년 11월 제49권 제5호
페이지435-440

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