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New Carbon-Based Anti Reflective Coating for DUV Lithography

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자료유형기사
기사명New Carbon-Based Anti Reflective Coating for DUV Lithography :
저자명김영범 강호영 문주태
발행/형태사항: 한국물리학회, 1998
수록잡지명Journal of the Korean Physical Society : 1998년 11월 Vol.33 Suppl.
페이지95-98

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