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두꺼운 박막 성장시 Steering 효과 연구:

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자료유형기사
기사명두꺼운 박막 성장시 Steering 효과 연구 :
저자명서지근 김재성
발행/형태사항: 한국진공학회, 2006
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2006년 07월 제15권 4호
페이지410-420

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