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정전접합을 이용한 고종횡비의 FED용 스페이서 공정 개발

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자료유형기사
기사명정전접합을 이용한 고종횡비의 FED용 스페이서 공정 개발 :
저자명김민수 김관수 문권진
발행/형태사항: 대한전기학회, 2000
수록잡지명전기학회논문지(C) : 2000년 01월 Vol.49 No.1
페이지70-72

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 560.5 구독중단 2000년 01월 Vol.49 No.1 권호정보

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