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플라즈마 화학 증착 텅스텐 박막의 급속 열처리 효과

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자료유형기사
기사명플라즈마 화학 증착 텅스텐 박막의 급속 열처리 효과 :
저자명홍종성 김용태 민석기
발행/형태사항: 한국물리학회, 1991
수록잡지명새 물리 : 1991년 06월 제31권 제3호
페이지302-309

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 420.5 새물리 구독중단 2006년 02월 제52권 제2호 권호정보 제본정보

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