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가스 조성이 저유전상수 a-C:F 층간절연막의 특성에 미치는 영향

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자료유형기사
기사명가스 조성이 저유전상수 a-C:F 층간절연막의 특성에 미치는 영향 :
저자명박정원 양성훈 이석형
발행/형태사항: 한국진공학회, 1998
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 1998년 12월 제7권 4호
페이지368-373

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