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ECR CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 H2/SiH4와 기판온도 변화에 따른 광학적 전기적 특징

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자료유형기사
기사명ECR CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 H2/SiH4와 기판온도 변화에 따른 광학적 전기적 특징 :
저자명강문양
발행/형태사항: 인덕대학, 1997
수록잡지명논문집(인덕대) : 1997년 05월 제18집
페이지315-324

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