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Study of the Application of SiCxNy Thin Films as Mask Membranes for LIGA

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자료유형기사
기사명Study of the Application of SiCxNy Thin Films as Mask Membranes for LIGA :
저자명박창모 이태호 전진남
발행/형태사항: 한국물리학회, 2002
수록잡지명Journal of the Korean Physical Society : 2002년 01월 Vol.40 No.1
페이지156-159

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 420.05 구독중단 2006년 01월 Vol.48 Supplement 1 권호정보

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