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다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조공정 기술

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자료유형기사
기사명다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조공정 기술 :
저자명이현우 전하응 우상호
발행/형태사항: 한국진공학회, 1992
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 1992년 03월 제1권 1호
페이지212-235

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1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 구독중단 2010년 11월 제19권 6호 권호정보

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