목차 일부

1장 진공의 세계
 1.1 들머리 ... 1
 1.2 진공기술의 발전 역사 ... 2
  1.2.1 진공기술의 태동 ... 2
  1.2.2 공기펌프의 발명 ... 4
  1.2.3 현대 물리학 및 화학의 탄생 ... 5
  1.2.4 고진공기술의 발전 ... 8
  1.2.5 진공의 산업에의 응용 ... 9
  1.2.6 제2차 세계대전과 진공기술 ......

더보기

목차 전체

1장 진공의 세계
 1.1 들머리 ... 1
 1.2 진공기술의 발전 역사 ... 2
  1.2.1 진공기술의 태동 ... 2
  1.2.2 공기펌프의 발명 ... 4
  1.2.3 현대 물리학 및 화학의 탄생 ... 5
  1.2.4 고진공기술의 발전 ... 8
  1.2.5 진공의 산업에의 응용 ... 9
  1.2.6 제2차 세계대전과 진공기술 ... 9
  1.2.7 초고진공기술의 발전 ... 9
  1.2.8 거대 초고진공장치 사업 ... 10
  1.2.9 반도체 산업과 진공기술의 산업화 ... 11
  1.2.10 극고진공기술의 개발 ... 12
 1.3 진공이란 무엇인가? ... 13
 1.4 진공의 의미 ... 13
 1.5 진공의 속성과 그 응용 ... 15
 참고문헌 ... 20
제2장 기체의 분자운동
 2.1 기체분자운동론 ... 21
 2.2 상태 방정식 ... 22
 2.3 기체 분자의 속도분포 ... 25
 2.4 기체의 분자운동과 압력 ... 33
 2.5 분자 입사빈도 ... 35
 2.6 평균 자유거리 ... 38
 2.7 자유거리의 분포 ... 41
 2.8 표면 위 충돌거리 ... 45
 2.9 수송과정 ... 49
  2.9.1 수송의 일반적 개념 ... 49
  2.9.2 확산 ... 52
  2.9.3 속쓸림 ... 53
  2.9.4 열의 이동 ... 54
  2.9.5 열 천이 ... 61
 2.10 기체의 흐름 ... 62
  2.10.1 흐름의 유형 ... 63
  2.10.2 기체의 유량 ... 65
  2.10.3 컨덕턴스 ... 68
 참고문헌 ... 83
3장 고체 표면과 기체 분자 ... 85
 3.1 고체 표면에서의 제 과정 ... 85
 3.2 흡착과 탈착 ... 87
  3.2.1 물리흡착 ... 87
  3.2.2 화학흡착 ... 92
  3.2.3 평균 체류시간 ... 95
  3.2.4 표면 확산 ... 98
  3.2.5 흡착과 탈착의 운동학 ... 103
  3.2.6 흡착 등온선 ... 108
 3.3 기체의 확산과 투과 ... 113
  3.3.1 확산 ... 113
  3.3.2 투과 ... 120
 3.4 가스방출 ... 124
  3.4.1 가스방출과 배기 ... 125
  3.4.2 가스방출과 베이크아웃 ... 130
  3.4.3 재료의 가스방출률 ... 133
 3.5 광유도 탈착 ... 137
 참고문헌 ... 139
4장 배기과정
 4.1 배기속도 ... 141
 4.2 집중형 진공 시스템(Iumped volume)의 배기 ... 143
  4.2.1 공간 배기 ... 143
  4.2.2 표면 배기 ... 145
  4.2.3 배기 문제 풀이 ... 147
 4.3 분산형 진공 시스템(distributed volume)의 배기 ... 149
제5장 진공펌프
 5.1 개론 ... 155
  5.1.1 진공펌프의 구분 ... 155
  5.1.2 진공펌프의 성능변수 ... 158
 5.2 유회전펌프(oil sealed rotary pump) ... 161
  5.2.1 회전베인펌프(rotary vane pump) ... 163
  5.2.2 회전베인펌프의 성능 특성 ... 164
  5.2.3 가스 발라스트(gas ballast) ... 165
  5.2.4 시스템 설계와 관련한 고려 사항 ... 167
  5.2.5 오일 역류(oil backstreaming) ... 168
  5.2.6 회전피스턴펌프(rotary piston pump) ... 169
  5.2.7 기타 고려 사항 ... 170
 5.3 루츠펌프(Roots pump) ... 171
  5.3.1 작동 원리 ... 171
  5.3.2 성능 이론 ... 172
  5.3.3 조합 시스템의 성능곡선 ... 175
  5.3.4 운전 특성 ... 177
 5.4 드라이펌프(dry pump) ... 178
  5.4.1 다단 루츠펌프 ... 179
  5.4.2 스크롤펌프(scroll pump) ... 180
  5.4.3 클로펌프(claw pump) ... 181
  5.4.4 스크류 압축기(screw compressor) ... 182
  5.4.5 왕복 피스턴 펌프 ... 183
  5.4.6 기타 ... 185
 5.5 유확산펌프(oil diffustion pump) ... 186
  5.5.1 유체분사식 펌프(fluid entrainment pump) ... 186
  5.5.2 확산펌프 기본 이론 ... 188
  5.5.3 확산펌프의 구조 및 작동 원리 ... 191
  5.5.4 성능 특성 ... 193
  5.5.5 펌프 오일 ... 196
  5.5.6 증기의 역류 ... 198
  5.5.7 유확산펌프의 운전 ... 200
  5.5.8 펌프 현상과 크기에 대한 고려 ... 202
 5.6 터보분자펌프(turbomolecular pump) ... 203
  5.6.1 분자펌프(molecular pump) ... 203
  5.6.2 터보분자펌프 ... 206
  5.6.3 원리 및 기본 구조 ... 207
  5.6.4 성능 특성 ... 213
  5.6.5 운전 특성 ... 215
 5.7 게터펌프(getter pump) ... 217
  5.7.1 기본 원리 ... 217
  5.7.2 게터의 종류 및 특성 ... 218
  5.7.3 배기 특성 ... 220
  5.7.4 티타늄 승화펌프 ... 223
  5.7.5 NEG 펌프 ... 226
 5.8 스퍼터 이온펌프(sputter ion pump) ... 227
  5.8.1 게터 이온펌프(getter ion pump) ... 227
  5.8.2 이극펌프(diode pump) ... 228
  5.8.3 삼극펌프(triode pump) ... 231
  5.8.4 배기 특성 ... 231
  5.8.5 펌프의 구조 ... 234
  5.8.6 시스템 구성 및 운전 특성 ... 237
 5.9 수착펌프(sorption pump) ... 239
  5.9.1 기본 원리 ... 239
  5.9.2 기본 이론 ... 239
  5.9.3 구조 ... 243
  5.9.4 재생 ... 245
  5.9.5 운전 특성 ... 245
 5.10 저온펌프(cryopump) ... 247
  5.10.1 기본 원리 ... 247
  5.10.2 구조 ... 252
  5.10.3 운전 특성 ... 256
  5.10.4 성능 특성 ... 258
 5.11 진공펌프의 비교 ... 261
  5.11.1 저진공펌프 ... 262
  5.11.2 부스터펌프(booster pump) ... 262
  5.11.3 고진공펌프 ... 263
 참고문헌 ... 266
6장 진공 계측
 6.1 낮은 압력의 측정 ... 267
  6.1.1 진공도 측정법 ... 268
  6.1.2 게이지의 정확도 ... 270
  6.1.3 게이지의 부착법 ... 270
  6.1.4 알맞은 게이지의 선택 ... 272
 6.2 전압게이지(total pressure gauge) ... 272
  6.2.1 액체 압력계(liquid manometer) ... 273
  6.2.2 맥레오드 게이지(McLeod gauge) ... 274
  6.2.3 격막게이지(diaphragm gauge)와 벌던 게이지(Bourdon gauge) ... 276
  6.2.4 전기용량 압력계 게이지(capacitance manometer gauge) ... 277
  6.2.5 열전도게이지(thermal conductivity gauge) ... 279
  6.2.6 자전 회전자게이지(spinning rotor gauge, SRG) ... 283
  6.2.7 이온화 게이지(ionization gauge) ... 288
 6.3 분압게이지(parfial pressure gauge) ... 311
  6.3.1 질량분석의 원리 ... 311
  6.3.2 자장 편향형 분석계(magnetic sector analyzers) ... 316
  6.3.3 비행시간형 질량분석계(TOF mass analyzer) ... 319
  6.3.4 4중극 질량분석계(quadrupole mass spectrometer, QMS) ... 320
  6.3.5 질량 스펙트럼의 해석 ... 339
 6.4 전·분압게이지의 감도교정(sensitivity calibration) ... 346
   6.4.1 전달 표준기와 게이지 ... 347
   6.4.2 게이지의 교정법 ... 347
   6.4.3 4중극 질량분석계의 교정 ... 350
 참고문헌 ... 350
7장 새는 곳 찾기
 7.1 개론 ... 353
 7.2 일반 원리 ... 354
  7.2.1 누출의 단위와 허용 누출량 ... 356
  7.2.2 누출의 판별 ... 358
  7.2.3 누출률의 측정 ... 359
  7.2.4 누출 찾는 법 ... 360
 7.3 누출검출기 ... 363
  7.3.1 방울 테스트법(bubble test) ... 364
  7.3.2 할로겐 누출검출기(halogen leak detector) ... 364
  7.3.3 테슬라 코일(tesla coil) ... 366
  7.3.4 게이지 검출기(gauge detector) ... 366
  7.3.5 이온펌프 검출기 ... 367
  7.3.6 헬륨 질량분석계 누출검출기 ... 367
8장 진공 시스템
 8.1 진공 시스템의 기본 설계 ... 381
  8.1.1 진공 시스템의 구성 ... 381
  8.1.2 시스템 설계의 기본 고려 사항 ... 382
  8.1.3 내부 발생 부하에 대한 고려 ... 384
  8.1.4 배기 시스템 ... 386
 8.2 재료 ... 387
  8.2.1 진공재료의 기본 요건 ... 387
  8.2.2 재료의 종류별 특성 ... 387
 8.3 제작 기술 ... 392
  8.3.1 성형가공 ... 392
  8.3.2 연결 및 밀봉(joining and sealing) ... 393
  8.3.3 세척(cleaning) ... 397
 8.4 진공 부품 ... 401
  8.4.1 진공밸브 ... 401
  8.4.2 관통공급관류 ... 403
 8.5 대표적 응용 시스템 ... 406
  8.5.1 일반적인 단위 시스템 ... 406
  8.5.2 진공증착 시스템 ... 412
  8.5.3 반도체가공 공정 ... 416
  8.5.4 입자가속기(particle accelerator) ... 421
  8.5.5 우주실험실(space simulation facility) ... 427
 8.6 초고진공 기술의 실제 ... 429
  8.6.1 진공챔버 제작과 용접 ... 430
  8.6.2 세척 ... 431
  8.6.3 베이크아웃 ... 432
  8.6.4 펌프 ... 433
  8.6.5 빔 세척 ... 435
  8.6.6 대기압 벤팅 ... 435
  8.6.7 쉬우면서도 어려운 것 ... 436
 참고문헌 ... 436
부록
 부록1 압력 단위 환산표 ... 437
 부록2 유량 단위 환산표 ... 438
 부록3 CF flange 규격 ... 438
 부록4 진공도 말하기 ... 439
찾아보기 ... 441

더보기 닫기