목차 일부

1장 <B><FONT color ... #0000
   1.1 플라스마란? ... 1
   1.2 제4의 물질상태 ... 4
   1.3 플라스마의 온도와 밀도 ... 8
   1.4 플라스마의 전기적 중성 ... 10
      1.4.1 전하분리의 공간적 한계 - 디바이 길이 ... 11
      1.4.2 전하분리의 시간적 한계 - 플라스마 진동수 ...

더보기

목차 전체

1장 <B><FONT color ... #0000
   1.1 플라스마란? ... 1
   1.2 제4의 물질상태 ... 4
   1.3 플라스마의 온도와 밀도 ... 8
   1.4 플라스마의 전기적 중성 ... 10
      1.4.1 전하분리의 공간적 한계 - 디바이 길이 ... 11
      1.4.2 전하분리의 시간적 한계 - 플라스마 진동수 ... 15
      1.4.3 플라스마의 기준 ... 17
   1.5 플라스마 안에서 하전입자 운동의 특성 ... 19
   1.6 <B><FONT color ... #0000
   1.7 <B><FONT color ... #0000
   1장 연습문제 ... 26
2장 글로방전 플라스마 프로세싱
   2.1 글로방전 플라스마의 기초 ... 30
   2.2 고주파수 방전에 의한 양광주 플라스마 ... 33
   2.3 프로세싱용 정상 글로방전 ... 34
   2.4 글로방전 프로세싱 장치의 기본 구성 ... 36
   2.5 글로방전 프로세싱 장치의 응용과 종류 ... 42
      2.5.1 물리적 증착법(PVD) ... 42
      2.5.2 화학적 증착법(CVD) ... 48
   2.6 글로방전 프로세스를 이용한 식각과 표면처리 ... 53
   2.7 글로방전 플라스마를 이용한 플라스마 표시판(PDP) ... 56
   2장 연습문제 ... 60
3장 플라스마를 이용한 제어 열핵융합 반응
   3.1 제어 핵융합 반응의 필요성 ... 64
   3.2 핵융합 반응의 원리 ... 66
   3.3 핵융합 반응의 로슨기준(Lawson criterion)과 점화조건 ... 70
   3.4 핵융합 반응장치의 구성 ... 74
   3.5 핵융합 반응장치의 종류 ... 76
      3.5.1 자기가둠 방식 ... 77
        3.5.1.1 열린 계 ... 77
        3.5.1.2 닫힌 계 ... 79
        3.5.1.3 핀치계 ... 82
      3.5.2 관성가둠 방식 ... 83
   3장 연습문제 ... 86
4장 전자기장 속에서 플라스마의 거동
   4.1 균일한 자기장 속에서 단일 플라스마 하전입자의 운동 ... 89
   4.2 균일한 전자기장 속에서 단일 플라스마 하전입자의 운동 ; 전기장 드리프트 ... 92
   4.3 중력장 속에서 단일 플라스마 하전입자의 운동 ; 중력 드리프트 ... 95
   4.4 비균일한 자기장 속에서 단일 플라스마 하전입자의 운동 ... 96
      4.4.1 기울기를 가진 자기장 속에서 단일 하전입자의 운동 ; ▽B 드리프트 ... 96
      4.4.2 곡선 곡률을 가진 자기장 속에서 단일 하전입자의 운동 ; 곡률 드리프트 ... 98
      4.4.3 곡률을 가지고 ▽B도 가진 자기장 속에서 단일 하전입자의 운동 ... 98
   4.5 비균일 전기장 속에서 단일 플라스마 하전입자의 운동 ; E×B 드리프트의 보정 ... 100
   4.6 자기미러장과 자기모멘트 보존 ... 103
   4.7 시간에 따라 변화하는 자기장 속에서 단일 플라스마 하전입자의 운동 ... 109
   4.8 단열불변량(adiabatic invariants) ... 111
      4.8.1 제1단열불변량 ; 자기모멘트(μ) 불변성 ... 111
      4.8.2 제2단열불변량 ; 세로방향 운동거리(J) 불변성 ... 112
      4.8.3 제3단열불변량 ; 자기선속(Φ) 불변성 ... 113
   4.9 고주파수 전자기장 속에서 단일 플라스마 하전입자의 운동 ... 114
   4장 연습문제 ... 118
5장 플라스마 유체동역학
   5.1 볼츠만 방정식과 블라소프 방정식 ... 122
   5.2 충돌항 ... 126
   5.3 볼츠만 방정식에서 보존법칙의 도출 ... 129
   5.4 자체유지에 대한 플라스마의 유체동역학 ... 132
   5.5 블라소프(무충돌 볼츠만)방정식의 해 ... 137
   5.6 플라스마의 열역학적 성질 ... 140
   5.7 플라스마의 유체압력 ... 142
   5장 연습문제 ... 146
6장 플라스마 속에서 파동현상
   6.1 파동의 전파 ... 147
   6.2 플라스마 진동과 분산관계 ... 150
   6.3 전자 플라스마파 ... 152
   6.4 이온파 ... 154
   6.5 자기장과 수직한 정전기 전자파 ... 157
   6.6 자기장과 수직한 정전기 이온파 ... 160
   6.7 균일 자기장이 없는 경우의 전자기파 ... 162
   6.8 균일 자기장에 수직한 전자기파 ... 165
   6.9 균일 자기장에 평행한 전자기파 ... 169
   6.10 저주파수 자기파 두 가지 ... 172
   6장 연습문제 ... 177
7장 플라스마 수송(평형, 확산, 안정성)
   7.1 플라스마의 정역학적 압력평형 ... 180
   7.2 플라스마의 평형조건, 자기미러에서의 평형조건 ... 182
   7.3 확산현상과 입자의 수송 ... 186
   7.4 플라스마 입자들의 이동 ; 양극성 확산 ... 189
   7.5 안정성 문제 ... 193
   7.6 플라스마 불안정성의 분류 ... 196
      7.6.1 교환형 불안정성 ... 198
      7.6.2 킹크형 불안정성 ... 202
      7.6.3 드리프트 불안정성 ... 204
      7.6.4 2유체 불안정성 ... 205
      7.6.5 미시적 불안정성 ... 206
   7장 연습문제 ... 209
8장 플라스마 진단과 계측
   8.1 플라스마 계측의 원리와 적용범위 ... 212
   8.2 단탐침 측정 ... 212
      8.2.1 전자온도, 전자밀도 및 공간전위의 결정 ... 214
      8.2.2 이온 측정 ... 218
      8.2.3 전자 에너지분포의 측정 ... 219
      8.2.4 단탐침 측정의 문제점 ... 222
   8.3 이중탐침 및 삼중탐침 ... 223
   8.4 자기탐침 측정법 ... 226
   8.5 전자기파의 간섭법에 의한 측정 ... 228
   8.6 레이저 산란에 의한 측정 ... 229
   8.7 분광분석법 ... 230
      8.7 1 광방출 분광분석(OES) ... 231
      8.7.2 광흡수 분광분석(OAS) ... 233
      8.7.3 레이저유도 형광 분광분석(LIFS) ... 234
      8.7.4 결맞는 반 스토크스 라만 분광분석(CARS) ... 235
      8.7.5 광갈바니 분광분석(OGS) ... 237
   8.8 입자 측정법 ... 238
   8.9 사진촬영에 의한 측정 ... 240
   8장 연습문제 ... 242
부록 ... 245

더보기 닫기