목차 일부
제1장 물성론
제1절 소립자 ... 15
1. 원자 ... 15
2. 전자의 전하 ... 20
3. 전자의 질량 ... 20
4. 전자의 에너지 ... 21
5. 전자의 힘 ... 22
제2절 양자론의 기초 ... 23
1. 양자 ... 23
2. 입자의 파동성 ... 2...
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목차 전체
제1장 물성론
제1절 소립자 ... 15
1. 원자 ... 15
2. 전자의 전하 ... 20
3. 전자의 질량 ... 20
4. 전자의 에너지 ... 21
5. 전자의 힘 ... 22
제2절 양자론의 기초 ... 23
1. 양자 ... 23
2. 입자의 파동성 ... 24
3. 양자의 입자성 ... 29
4. 보어(Bohr)의 원자 모형 ... 32
5. 전자의 양자수 ... 40
제3절 확률분포함수 ... 44
제4절 페르미-디렉 분포함수 ... 46
복습문제 ... 52
연구문제 ... 55
제2장 반도체의 결정
제1절 결정의 정의 ... 61
제2절 결정의 종류 ... 63
제3절 결정 구조 ... 65
1. 단순입방격자 ... 66
2. 면심입방격자 ... 67
3. 체심입방격자 ... 67
4. 다이아몬드형 결정 구조 ... 68
5. 기타 결정구조 ... 70
제4절 밀러 지수(Index) ... 71
제5절 결정 결함(Defect) ... 74
1. 정결함 ... 74
2. 선결함 ... 76
3. 면결함 ... 77
제6절 결정 구조의 해석 ... 77
복습문제 ... 80
연구문제 ... 83
제3장 반도체의 재료
제1절 도체·반도체·절연체 ... 87
제2절 반도체의 특징 ... 89
제3절 반도체의 특성과 기능 ... 90
1. 원자의 기본 구조 ... 90
2. 반도체의 구조 ... 91
제4절 반도체의 종류 ... 93
1. 실리콘 ... 92
2. 진성 반도체 ... 95
3. 불순물 반도체 ... 97
제5절 반도체의 발전 과정 ... 102
제6절 반도체 재료 ... 104
제7절 반도체의 역할 ... 107
1. 정류(整流) ... 107
2. 증폭(增幅) ... 107
3. 변환 및 전환 ... 107
4. 저장 및 기억 ... 108
5. 계산 및 연산 ... 108
6. 제어 ... 108
복습문제 ... 109
연구문제 ... 114
제4장 반도체의 에너지 밴드
제1절 공유결합과 에너지 밴드 ... 117
1. 공유결합 ... 117
2. 고체의 에너지 ... 119
제2절 에너지갭 ... 122
1. 에너지대 ... 122
2. 에너지대와 전자·정공의 발생 ... 124
제3절 간접 및 직접 천이형 반도체 ... 125
제4절 불순불 반도체의 에너지대 ... 128
1. N형 반도체의 에너지 구조 ... 128
2. p형 반도체의 에너지 구조 ... 128
복습문제 ... 134
연구문제 ... 136
제5장 반도체의 도전 현상
제1절 고체의 도전 현상 ... 141
제2절 반도체의 드리프트 ... 144
제3절 반도체의 전기전도 ... 146
제4절 격자산란 ... 148
제5절 불순물산란 ... 151
제6절 홀 효과 ... 152
제7절 확산운동 ... 155
제8절 열대성과 재결합 ... 157
제9절 과잉 소수 캐리어 ... 161
1. 과잉 캐리어 농도 ... 162
제10절 반도체의 캐리어 밀도 ... 163
제11절 반도체의 페르미 준위 ... 166
1. 진성 반도체 ... 166
2. N형 반도체 ... 167
복습문제 ... 172
연구문제 ... 174
제6장 반도체의 PN 접합
제1절 PN 접합 ... 179
1. 공핍층 ... 179
2. 접촉전위차 ... 180
3. 공핍층의 전계 ... 184
4. 전위분포 ... 187
5. 공핍층의 폭 ... 188
제2절 PN 접합 다이오드 ... 190
1. 정류 특성 ... 190
2. 공핍층영역의 변화 ... 193
제3절 다이오드의 커패시터 ... 194
1. 접합 커패시터 ... 194
2. 공핍층 커패시터 ... 195
제4절 항복 현상 ... 198
1. 애벌란시 항복 ... 199
2. 제너 항복 ... 200
제5절 다이오드의 응용 ... 201
1. 다이오드의 저항 ... 201
2. 제너 다이오드 회로 ... 203
3. 전파정류회로 ... 205
4. 클리퍼와 클램퍼 ... 206
복습문제 ... 209
연구문제 ... 212
제7장 금속과 반도체의 접촉
제1절 쇼트키 장벽 ... 219
제2절 쇼트키 장벽 다이오드 ... 223
1. 접합의 성질 ... 223
2. 쇼트키 효과 ... 225
3. 쇼트키 다이오드의 전류 ... 226
4. 옴(Ohm)성 접촉 ... 229
복습문제 ... 231
연구문제 ... 234
제8장 트랜지스터
제1절 바이폴러 트랜지스터 ... 237
1. 점 접촉형 트랜지스터 ... 237
2. 접합형 트랜지스터 ... 238
3. 평면형 트랜지스터 ... 239
4. NPNI PNP 트랜지스터 ... 240
제2절 전계효과 트랜지스터 ... 246
1. 전계효과 트랜지스터 ... 246
2. 동작 ... 249
3. MOSFET ... 252
4. MOSFET의 특성 ... 260
5. nMos 논리회로 ... 268
6. CMOS(Complementary MOS) 소자 ... 270
복습문제 ... 276
연구문제 ... 281
제9장 반도체의 제조공정
제1절 반도체의 재료 ... 287
1. 웨이퍼 ... 287
2. 마스크 ... 293
3. 리드프레임 ... 293
제2절 반도체 설비 ... 294
1. 제조설비 ... 294
2. 캐미컬 및 유틸리티 ... 295
3. 반도체 수욜 ... 296
제3절 반도체 제조공정 ... 297
1. 반도체 제조의 기초 ... 297
2. 웨이퍼 제조 및 회로설계 ... 301
3. 웨이퍼 가공 ... 304
4. 조립 및 검사 ... 319
5. 패키징(Packaging) 공정 ... 320
제4절 반도체 소자 제조방법 ... 324
1. 바이폴러 트랜지스터 ... 324
2. MOS 트랜지스터 ... 325
3. nMOS 트랜지스터의 제조공정 ... 326
4. CMOS 소자의 공정과 레이아웃 ... 329
제5절 반도체 생산 ... 340
1. 제조 라인 ... 340
2. 청정실 ... 342
복습문제 ... 346
연구문제 ... 350
제10장 특수반도체 소자
제1절 정전압 다이오드 ... 355
제2절 광다이오드 ... 357
제3절 광 트랜지스터(Phototransistor) ... 358
제4절 발광다이오드 ... 360
제5절 반도체 레이저 ... 362
제6절 단일접합 트랜지스터 ... 363
제7절 사이리스터 ... 365
1. 실리콘 제어 정류기 ... 365
2. 실리콘 제어 스위치(SCS) ... 370
3. 다이액과 트라이액 ... 371
4. 프로그래머블 단일접합 트랜지스터 ... 373
5. SUS와 SBS ... 375
제8절 집접회로 소자 ... 376
1. 메모리 소자 ... 376
2. 마이크로 소자 ... 378
3. 기타 반도체 소자 ... 379
제9절 정보 디스플레이 ... 380
1. 디스플레이의 구성요소 ... 381
2. 디스플레이의 개발 ... 384
3. 디스플레이의 종류와 특성 ... 386
복습문제 ... 395
연구문제 ... 400
부록
1. Symbol lists ... 405
2. International system of lists ... 406
3. Unit prefixes ... 407
4. Greek alphabet ... 408
5. Physical constants ... 408
6. Properties of Ge, Si, GaAs at 300k ... 409
7. Properties of SiO₂, Si₃N₄ at 300k ... 410
8. Periodic table of the elements ... 411
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