목차 일부

[PART Ⅰ] 진공의 기초
   CHAPTER 01 진공의 기초
      1.1 진공의 바다 ... 5
        1.1.1 진공의 정의 ... 6
        1.1.2 대기압의 인식 ... 8
      1.2 진공의 역사 ... 11
        1.2.1 진공의 태동 ... 11
        1.2.2 진공의 실험 ... 12
     ...

더보기

목차 전체

[PART Ⅰ] 진공의 기초
   CHAPTER 01 진공의 기초
      1.1 진공의 바다 ... 5
        1.1.1 진공의 정의 ... 6
        1.1.2 대기압의 인식 ... 8
      1.2 진공의 역사 ... 11
        1.2.1 진공의 태동 ... 11
        1.2.2 진공의 실험 ... 12
        1.2.3 진공 펌프의 개발사 ... 18
      1.3 진공의 성질 ... 19
        1.3.1 진공의 특성 ... 21
        1.3.2 진공의 분류 ... 22
      1.4 진공기술 ... 23
        1.4.1 진공의 필요성 ... 24
        1.4.2 진공기술의 응용 ... 26
   CHAPTER 02 기체의 운동
      2.1 기체의 성질 ... 33
        2.1.1 기체의 역사 ... 34
        2.1.2 이상적인 기체 ... 36
      2.2 기체법칙 ... 38
        2.2.1 Boyle의 법칙 ... 38
        2.2.2 Charles의 법칙 ... 39
        2.2.3 Dalton의 법칙 ... 41
        2.2.4 Avogadro의 가설 ... 42
        2.2.5 이상 기체의 법칙 ... 43
      2.3 기치의 전달현상 ... 44
        2.3.1 확산 ... 45
        2.3.2 점성 ... 47
        2.3.3 열전달 ... 48
        2.3.4 평균자유행정 ... 50
      2.4 기체 흐름 ... 52
        2.4.1 기체 흐름의 영역 ... 52
        2.4.2 컨덕턴스 ... 54
        2.4.3 유량 ... 56
      2.5 기체와 고체 표면 ... 57
[PART Ⅱ] 진공의 창출
   CHAPTER 03 진공 펌프
      3.1 진공 펌프의 성능 ... 69
        3.1.1 배기속도 ... 69
        3.1.2 배기 시간 ... 72
      3.2 진공 펌프의 분류 ... 76
      3.3 진공 펌프의 선정 ... 80
      3.4 진공 펌프의 사용방법 ... 83
   CHAPTER 04 러핑 펌프
      4.1 피스톤 회전 펌프 ... 92
      4.2 오일 호전 펌프 ... 94
      4.3 드라이 펌프 ... 98
        4.3.1 Screw 펌프 ... 99
        4.3.2 Roots 펌프 ... 100
        4.3.3 Claw 펌프 ... 104
        4.3.4 Scroll 펌프 ... 106
      4.4 부스터 펌프 ... 108
      4.5 벤츄리 펌프 ... 109
      4.6 섭션 펌프 ... 111
   CHAPTER 05 고진공 펌프
      5.1 오일 확산 펌프 ... 118
        5.1.1 확산 펌프의 역사 ... 118
        5.1.2 확산 펌프의 구조와 원리 ... 121
        5.1.3 오일 증기의 역류 ... 124
        5.1.4 확산 펌프의 오일 ... 128
        5.1.5 확산 펌프의 사용법과 고장진단 ... 130
      5.2 터보 분자 펌프 ... 134
        5.2.1 터보 펌프의 역사 ... 135
        5.2.2 터보 분자 펌프의 기본 원리 ... 137
        5.2.3 터보 분자 펌프의 설계 ... 140
        5.2.4 터보 분자 펌프의 사용법과 고장진단 ... 143
      5.3 크라이오 펌프 ... 148
        5.3.1 크라이오 펌프의 원리 ... 148
        5.3.2 크라이오 펌프의 구조 ... 151
        5.3.3 크라이오 펌프의 사용법 ... 155
   CHAPTER 06 초고진공 펌프
      6.1 게터 펌프 ... 164
        6.1.1 게터 펌프의 종류와 원리 ... 165
        6.1.2 게터 펌프의 배기특성 ... 168
        6.1.3 게터 펌프의 사용법 ... 170
      6.2 티타늄 승화 펌프 ... 172
      6.3 이온 펌프 ... 175
[PART Ⅲ] 진공의 측정
   CHAPTER 07 진공 게이지
      7.1 진공 측정의 원리와 종류 ... 189
      7.2 직접 측정 게이지 ... 189
        7.2.1 액체 압력계 ... 194
        7.2.2 McLeod 게이지 ... 195
        7.2.3 부르동 게이지 ... 197
        7.2.4 전기용량 게이지 ... 197
      7.3 간접 측정 게이지 ... 199
        7.3.1 열전대 게이지 ... 199
        7.3.2 피라니 게이지 ... 201
        7.3.3 대류 게이지 ... 202
        7.3.4 열음극 이온 게이지 ... 203
        7.3.5 냉음극 이온 게이지 ... 209
      7.4 잔류 가스 분석기 ... 213
   CHAPTER 08 진공 누설
      8.1 누설의 원리 ... 222
        8.1.1 누설의 기초 ... 222
        8.1.2 누설의 원인 ... 225
      8.2 누설의 검출 ... 227
        8.2.1 압력 변화법 ... 229
        8.2.2 잔류 가스 분석기 ... 230
      8.3 누설의 방지 ... 234
[PART Ⅳ] 진공의 설계
   CHAPTER 09 진공 설계
      9.1 진공 부품 ... 241
        9.1.1 가스 공급 부품 ... 242
        9.1.2 진공 밸브 ... 242
        9.1.3 진공 플랜지 ... 244
        9.1.4 진공 튜빙 ... 246
        9.1.5 진공 피드쓰루 ... 247
      9.2 진공 재료 ... 248
        9.2.1 스테인레스강 ... 248
        9.2.2 알루미늄 ... 250
        9.2.3 구리 ... 250
        9.2.4 유리 ... 251
        9.2.5 세라믹 ... 252
        9.2.6 탄성 중합체 ... 252
      9.3 진공 결합기술 ... 253
        9.3.1 플랜지 접속 ... 254
        9.3.2 영구 접속 ... 258
      9.4 진공 시스템의 설계 ... 260
        9.4.1 확산 펌프를 이용한 진공 시스템 ... 260
        9.4.2 터보 분자 펌프를 이용한 진공 시스템 ... 262
   CHAPTER 10 고장 수리
      10.1 고장 원인 ... 267
        10.1.1 진공 오염 ... 268
        10.1.2 고장 원인 ... 269
      10.2 유지 보수 ... 271
      10.3 진공 세척 ... 276
        10.3.1 각종 소재의 세척 ... 278
        10.3.2 베이크아웃 ... 280
참고자료 ... 285
부록 ... 287
INDEX ... 297

더보기 닫기