대구한의대학교 향산도서관

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LPCVD로 증착한 텅스텐 박막의 증착 조건 제어에 의한 접착성 및 저항 특성 향상: / 노관종 윤선필 윤영수 노용한 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2000 /
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