대구한의대학교 향산도서관

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O₂/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 polycarbonate와 PMMA의 건식 식각: / 주영우 박연현 노호섭 김재권 이제원 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2009 /
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