대구한의대학교 향산도서관

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레이디얼 베이시스 함수망을 이용한 플라즈마 식각공정 모델링: / 박경영 김병환 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2005 /
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