대구한의대학교 향산도서관

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CMP 공정에 기인하는 소자특성의 열화를 방지하기 위한 PMD 구조에 대한 연구 / 서용진 김상용 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 1999 /
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