대구한의대학교 향산도서관

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Ar/CHF₃플라즈마를 이용한 SBT박막에 대한 식각 메카니즘 연구 / 서정우 이원재 유병곤 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2000 /
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