대구한의대학교 향산도서관

선택목록저장

검색간략리스트

저널기사
Etching characteristics of Au thin films using inductively coupled CF1/Cl₂/Ar plasma: / 기동표 김창일 / 한국전기전자재료학회 / Transactions on Electrical and Electronic Materials / 2003 /
항목 :