대구한의대학교 향산도서관

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BCl₃, BCl₃/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs 반도체 소자의 건식식각: / 임완태 백인규 이제원 조관식 전민현 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2003 /
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