대구한의대학교 향산도서관

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직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거: / 정영순 송오성 김득중 주영철 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2004 /
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