대구한의대학교 향산도서관

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저진공 축전 결합형 BCI₃/N₂ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각: / 김재권 박주홍 이성현 노호섭 주영우 박연현 김태진 이제원 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2009 /
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