대구한의대학교 향산도서관

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Si₂H 와 H₂ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향 / 손용훈 박성계 김상훈 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2002 /
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