대구한의대학교 향산도서관

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플라즈마 화학기상 증착방식으로 성장시킨 비정질 실리콘 카바이드 박막의 열처리 효과에 관한 특성분석 / 박문기 김용탁 최원석 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2000 /
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