대구한의대학교 향산도서관

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ECR을 이용한 SF6/O2 가스 플라즈마에 의한 ITO의 식각 특성 연구 / 권광호 강승열 김곤호 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2000 /
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