대구한의대학교 향산도서관

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탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성: / 서용진 박창준 최운식 김상용 박진성 이우선 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2003 /
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