대구한의대학교 향산도서관

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90 nm 급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구: / 고용득 천희곤 이징혁 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2005 /
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