대구한의대학교 향산도서관

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반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화: / 이경진 김상용 서용진 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2002 /
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