대구한의대학교 향산도서관

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CF₄/CH₄-TCPCVD 방법에 의한 저유전상수를 갖는 a-C:F 박막 형성에 대한 연구: / 김덕수 고호정 최치규 / 한국물리학회 / 새 물리 / 2005 /
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