대구한의대학교 향산도서관

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Extended SBM 공정을 이용하여 단일 실리콘 기판상에 제작된 새로운 z축 가속도계: / 고형호 김종팔 박상준 곽동훈 송태용 조동일 허건수 박장현 / 한국센서학회 / 센서 학회지 / 2004 /
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