대구한의대학교 향산도서관

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공정가스와 RF 주파수에 따른 웨이퍼 표면 텍스쳐 처리 공정에서 저반사율에 관한 연구: / 윤명수 현덕환 진법종 최종용 김정식 강형동 이준신 권기청 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2010 /
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