대구한의대학교 향산도서관

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Cl₂/CF₄플라즈마에 Ar, O₂첨가에 따른 PZT 박막의 식각 손상 개선 효과 / 강명구 김경태 김창일 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2002 /
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