대구한의대학교 향산도서관

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Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BAT 박막의 식각 메카니즘: / 임규태 김경태 김동표 김창일 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2003 /
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