대구한의대학교 향산도서관

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CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향: / 김구연 김형재 박범영 이현섭 박기현 정해도 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2004 /
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