대구한의대학교 향산도서관

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Self-conditioning 고정입자패드를 이용한 CMP: / 박범영 이현섭 박기현 서헌덕 정해도 김호윤 김형재 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2005 /
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